[发明专利]位置测量机构有效
申请号: | 201510654750.5 | 申请日: | 2015-10-12 |
公开(公告)号: | CN105509591B | 公开(公告)日: | 2017-09-26 |
发明(设计)人: | P.菲舍尔 | 申请(专利权)人: | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 |
主分类号: | G01B5/00 | 分类号: | G01B5/00;G01B11/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 杨国治,宣力伟 |
地址: | 德国特劳*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种位置测量机构,带有承载有标尺(40)的型材(10)并且带有相对于其沿着测量方向(X)能够运动的用于扫描所述标尺(40)的第一测量刻度(41)的扫描单元(20)。为了测量第一物体(100)相对于第二物体(200)的位置,扫描单元(20)装配在第二物体(200)处并且标尺(40)装配在第一物体(100)处。根据本发明,构造位置测量机构用于检测所述标尺(40)相对于第一物体(100)的偏移。为此,在型材(10)处设置第二扫描单元(30)并且所述标尺(40)在背侧具有能够由第二扫描单元(30)进行扫描的第二测量刻度(42)。 | ||
搜索关键词: | 位置 测量 机构 | ||
【主权项】:
位置测量机构,包括第一组合件(1)和第二组合件(2),其中,所述第一组合件(1)具有型材(10),所述型材承载有带有第一测量刻度(41)的标尺(40),所述第二组合件(2)包括第一扫描单元(20),并且为了测量第一物体(100)相对于第二物体(200)的位置,所述第一组合件(1)能够在待测量的所述第一物体(100)处进行安装并且所述第二组合件(2)能够在待测量的所述第二物体(200)处进行安装,并且所述第一扫描单元(20)能够沿着沿着测量方向(X)的移动路径移动并且在此扫描所述标尺(40)的第一测量刻度(41),其特征在于,所述标尺(40)具有第二测量刻度(42),并且在所述型材(10)处布置至少一个第二扫描单元(30),利用所述第二扫描单元能够扫描所述第二测量刻度(42)并且为了测量所述标尺(40)相对于所述第一物体(100)的偏移如下布置所述第二扫描单元,从而实现所述第一扫描单元(20)沿着所述移动路径与所述第二扫描单元(30)垂直于所述测量方向(X)间隔地、无碰撞地移动。
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