[发明专利]一种铈、钛前驱复合树脂砂轮及其制备方法在审
| 申请号: | 201510651492.5 | 申请日: | 2015-10-09 |
| 公开(公告)号: | CN105252437A | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
| 发明(设计)人: | 黄浩 | 申请(专利权)人: | 芜湖市鸿坤汽车零部件有限公司 |
| 主分类号: | B24D3/28 | 分类号: | B24D3/28;B24D3/34;B24D18/00;C08G8/28;C09K3/14 |
| 代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
| 地址: | 241000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种铈、钛前驱复合树脂砂轮,它是由下述重量份的原料组成的:八水碳酸铈40-50、硫酸钛30-40、25-28wt%氨水80-100、双氧水1-2、CBN磨料570-600、苯酚90-100、35-40%甲醛溶液96-110、硼酸5-7、六次甲基四胺2-6、苯胺13-20、硬脂酸4-7、石墨粉10-16、氧化钙3-6。本发明采用八水碳酸铈为铈源,硫酸钛为钛源,六亚甲基四胺为沉淀剂,得到复合磨料,该磨料可以改善成品砂轮的硬度,特别适用于硅晶片热氧化层的化学机械抛光。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 前驱 复合 树脂 砂轮 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种铈、钛前驱复合树脂砂轮,其特征在于它是由下述重量份的原料组成的:八水碳酸铈40‑50、硫酸钛30‑40、25‑28wt%氨水80‑100、双氧水1‑2、CBN磨料570‑600、苯酚90‑100、35‑40%甲醛溶液96‑110、硼酸5‑7、六次甲基四胺2‑6、苯胺13‑20、硬脂酸4‑7、石墨粉10‑16、氧化钙3‑6。
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