[发明专利]一种低温热导率测量方法在审
| 申请号： | 201510642265.6 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105241918A | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 熊林;黄河清;林熙 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 朱红涛 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为一种低温热导率测量方法，可用于测量固体衬底或薄膜在常温或低温下的热导率。本发明基于固体材料热导率测量的3ω方法，并从以下方面对其进行了改进。通过改变衬底上薄膜的厚度多次测量，用差分方法得到薄膜的纵向热导率，有效避免了薄膜与衬底界面上的边界热阻导致的测量值偏差。通过在测量用锁相放大器前增加一个极低线性偏离的前置放大器，并将信号放大10倍，有效提高了测量精度。通过单片机控制数字电位器调节前置放大器放大倍数的方法，实现了全自动测量。通过采用磁性材料坡莫合金，将测量温区扩展至极低温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温热 测量方法 | ||
【主权项】：
一种基于3ω方法的低温热导率测量方法，可以对固体衬底或薄膜在常温或低温下的热导率进行测量，其特征是：通过改变衬底上薄膜的厚度多次测量，用差分方法得到薄膜的纵向热导率，有效避免了薄膜与衬底界面上的边界热阻导致的测量值偏差。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510642265.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
