[发明专利]一种用于单晶炉的两区加热器在审
| 申请号： | 201510633505.6 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN105200529A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 郎业方;杨忠明;刘顺钢;佟渤勇 | 申请（专利权）人： | 郎业方 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 赵云 |
| 地址： | 100095 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于单晶炉的两区加热器，包括上加热器和下加热器，在轴线上对应，均为圆筒状结构，设置有回型槽，回型槽将圆筒分成若干回路，回路的段数n为16或20或24或28或32或36，材料为高温高压成型的高纯石墨，上、下区高度上的功率比为3～5：1。本发明的两区加热器热量可分段供给，一般控制在高度上的功率，下区比上区高3～5倍，这样使下区温度达到1650℃，上区温度1450℃，使得单晶炉的温度梯度达到64～94℃/cm，大大超过现有的单区加热的单晶炉下区温度1450℃，温度梯度30～40℃/cm的水平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶炉 加热器 | ||
【主权项】：
一种用于单晶炉的两区加热器，其特征在于包括上加热器和下加热器，在轴线上对应，均为圆筒状结构，设置有回型槽，回型槽将圆筒分成若干回路，回路的段数n为16或20或24或28或32或36，材料为高温高压成型的高纯石墨上下区高度上的功率比为3～5：1。
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