[发明专利]一种CIGS薄膜太阳能电池窗口层的制备方法

摘要

一种CIGS薄膜太阳能电池窗口层的制备方法，步骤1、清洗沉积有硫化镉的CdS缓冲层衬底；步骤2、利用低压化学气相沉积法(LPCVD)依次制备本征氧化锌层和BZO导电窗口层，步骤依次为先将步骤1清洗好的硫化镉缓冲层衬底，传入TCO设备的预热腔体中真空预热；再将预热好的衬底送入TCO设备的反应腔室，分以下两个阶段沉积第一阶段生长i-ZnO层；第二阶段生长BZO导电窗口。本发明制备工艺简单，反应温度低，而且在水汽保护下，不会对电池产生破坏，可在一定程度上形成退火处理，使得电池结构更为紧密；其次，通过连续改变B2H6流量，可形成梯度结构的BZO层，改善光电性能，增加其电池转化效率。

主权项

一种CIGS薄膜太阳能电池，依次包括基底、阻挡层、钼背电极层、钼钠层、CIGS光吸收层、CdS缓冲层、本征氧化锌层和BZO导电窗口层；在BZO导电窗口层上配置表面金属电极层，表面金属电极层由银浆组成，通过丝网印刷技术印刷在电池表面烧结形成，其不透光，成网栅状结构分布在BZO导电窗口层表面。