[发明专利]冲压模具类钻碳镀膜优化参数的方法及应用其的冲压模具

摘要

本发明公开一种冲压模具类钻碳镀膜优化参数的方法及应用其的冲压模具，镀膜优化参数的方法包含：进行田口参数选择，定义数个功能性质需求、选择适当的镀膜参数作为因子，选取多个水平；以田口实验法获得各个因子在不同水平下的功能量化数据；利用田口实验法计算各组参数的信噪比，并由信噪比推论出其最佳组合，再进行其参数优化确认实验，以得到优化镀膜参数，并进行各性质的变异数分析算出各因子的贡献度，由各贡献度决定因子间影响程度；进行参数优化实验并由参数优化实验进行多次的反复实验，再重复进行检测，以得到田口稳健化参数。本发明能够降低成形加工过程中在工具表面所承受的剪切应力，并同时镀膜具有较佳的附着性及机械性、耐腐蚀性。

主权项

1.一种冲压模具类钻碳镀膜优化参数的方法，适用于四靶源封闭式非平衡磁控制溅镀法，并使用2个铬靶、1个钛靶及一个铝靶对一基板进行镀膜，其特征在于，包含以下步骤：进行田口参数选择，以定义数个功能性质需求、并选择适当的镀膜参数作为因子，且选取多个水平，该些功能性质需求包含镀膜附着性、摩擦系数和耐磨 耗力，该因子包含中介层、基板偏压、铝靶材电流、铬靶材电流、钛靶材电流、基板旋转速度、氮气流量及乙炔流量；依据该些功能性质需求，分别以田口实验法获得各个因子在不同水平下的功能量化数据；利用田口实验法计算根据功能量化数据分析各组参数的信噪比，并由该些信噪比推论出其最佳组合，再进行其参数优化确认实验，以得到包含该些功能的多目的优化的镀膜参数，并经由田口实验法得到的优化参数进行各性质的变异数分析算出各因子的贡献度，由各贡献度决定因子间影响程度；以及分别根据各个功能性质需求进行参数优化实验，并由参数优化实验进行多次的反复实验，再进行前一步骤的检测，以得到一田口稳健化参数。