[发明专利]耐用的3D几何形状保形抗反射涂层

摘要

本申请涉及耐用的3D几何形状保形抗反射涂层。更具体而言，公开了用于沉积薄膜的方法和系统。该方法和系统可以被用来在基板表面上沉积具有均匀厚度的膜，其中基板表面具有非平坦三维几何形状，诸如弯曲的表面。该方法涉及沉积源的使用，其中沉积源具有符合基板表面的非平坦三维几何形状的形状。在一些实施例中，多层膜沉积在彼此之上，从而形成多层涂层。在一些实施例中，多层涂层是用于窗口或透镜的抗反射(AR)涂层。

主权项

一种在基板的弯曲表面上沉积膜的方法，所述方法包括：相对于沉积系统的源定位所述弯曲表面，其中所述源包括具有符合所述基板的弯曲表面的弯曲形状的有效表面；及导致所述源发射多个粒子，使得所述多个粒子变得作为所述膜沉积在所述弯曲表面上，其中所述有效表面的弯曲形状与所述膜的厚度相关联。