[发明专利]一种掺铝氧化锌纳米阵列的制备方法

摘要

一种掺铝氧化锌纳米阵列的制备方法，所述制备方法为通过连续恒定速率注入生长源和掺杂源，精确控制化学反应液的浓度，从而可控制备出高载流子浓度的掺铝氧化锌阵列，并与氧化镍材料复合得到高容量的电容器电极材料，一种电容器电极材料，所述电极材料由连续流动注射法所制备的高电导率的铝掺杂氧化锌纳米阵列与导电性差但电容量高的氧化镍纳米片材料结合所得，本发明与普通水热法相比载流子浓度提高了3个数量级，将这种高载流子浓度的铝掺杂氧化锌材料与导电性差的氧化镍复合起来，充分发挥两者优势,可大幅度提高电容器的电容量，连续流动注射掺杂方法为可控精确掺杂提供了新思路且工艺简单，成本低廉，有很好的应用前景。

主权项

一种掺铝氧化锌纳米阵列的制备方法，其特征在于，所述制备方法为通过连续恒定速率注入生长源和掺杂源，精确控制化学反应液的浓度，从而可控制备出高载流子浓度的掺铝氧化锌阵列，并与氧化镍材料复合得到高容量的电容器电极材料，所述制备方法具体步骤如下：(1)对玻璃进行清洗并磁控溅射沉积掺Al的氧化锌薄膜作为晶种层，将此衬底晶种层向上置于连续生长装置的液相化学反应腔中；(2)配制50mM硝酸锌和5mM硝酸铝混合水溶液并将其注入到所用连续生长装置其中的一个注射器；(3)配制50mM六亚甲基四胺作为碱盐将其注入到装置的另一个注射器中；(4)通过水浴加热将液相化学反应腔温度保持在95℃，设定反应源恒定注入速率为6ml/h以及恒定注入时间为16h，开始连续流动注射法制备掺铝ZnO阵列；(5)水热反应结束后，停止加热反应腔，待冷却到室温，取出样品，用去离子水冲洗并氮气吹干；(6)通过化学浴沉积法在掺铝ZnO阵列外包覆NiO纳米片构筑电容器电极材料。