[发明专利]一种适用于氟化钙凸锥镜高效加工的联合工艺方法

摘要

本发明公开了一种适用于氟化钙凸锥镜高效加工的联合工艺方法，充分考虑了氟化钙晶体的材料特性及凸锥面异形结构特性，将加工流程分为成型、面形精度提升、粗糙度提升三个环节并分别采用铣磨成型技术、金刚石车削技术及磁流变抛光技术三种联合工艺进行加工，对氟化钙凸锥的锥角度、面形精度、粗糙度等技术瓶颈进行各个击破。本发明加工效率高，锥角精度准确，面形精度及粗糙度可控、稳定，突破了国内现有工艺无法加工氟化钙凸锥异形曲面的技术瓶颈，为我国开展光刻机投影曝光光学系统的研制提供技术保障。

主权项

一种适用于氟化钙凸锥镜高效加工的联合工艺方法，其特征在于：根据氟化钙凸锥的成型、面形精度提升、粗糙度提升三道工艺流程，分别采用铣磨成型技术、金刚石车削技术及磁流变抛光技术三种技术方法联合加工实现；所述铣磨成型技术：通过采用数控铣磨机床将最接近球半径的氟化钙凸面快速铣磨为氟化钙凸锥镜，锥角误差θ≤0.1°，锥面直线度误差≤2微米；所述金刚石车削技术：提升氟化钙凸锥镜面形精度及锥角度，采用金刚石车削技术使加工后的氟化钙凸锥镜面形精度峰谷值PV≤λ/8，锥角误差θ≤0.003°，粗糙度Rq≤25nm；所述磁流变抛光技术：提升氟化钙凸锥镜的表面粗糙度及控制凸锥镜的面形精度，采用磁流变抛光技术使加工后的氟化钙凸锥镜面形精度峰谷值PV≤λ/6，锥角误差θ≤0.003°，粗糙度Rq≤0.5nm。