[发明专利]彩膜基板及其制作方法有效
申请号: | 201510591419.3 | 申请日: | 2015-09-16 |
公开(公告)号: | CN105116601B | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 翁国光 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种彩膜基板及其制作方法。所述彩膜面板包括:玻璃基板;黑色矩阵层,所述黑色矩阵层设置在所述玻璃基板的第一表面上;色阻层,所述色阻层设置在所述第一表面上,所述色阻层包括红色色阻块、绿色色阻块和蓝色色阻块;覆盖层,所述覆盖层设置在所述色阻层和所述黑色矩阵层上;间隔层,所述间隔层设置在所述覆盖层上,所述间隔层包括至少一间隔件;其中,所述覆盖层和所述间隔层是在同一道光罩制程中形成的;所述间隔层的材料与所述覆盖层的材料相同。本发明可以使得彩膜基板中的覆盖层和间隔件组合层在同一道光罩制程中形成,节省了彩膜基板的部分制作工序,提高了彩膜基板的制作效率。 | ||
搜索关键词: | 彩膜基板 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种彩膜面板,其特征在于,所述彩膜面板包括:玻璃基板;黑色矩阵层,所述黑色矩阵层设置在所述玻璃基板的第一表面上;色阻层,所述色阻层设置在所述第一表面上,所述色阻层包括红色色阻块、绿色色阻块和蓝色色阻块;覆盖层,所述覆盖层设置在所述色阻层和所述黑色矩阵层上;间隔层,所述间隔层设置在所述覆盖层上,所述间隔层包括至少一间隔件;其中,所述覆盖层和所述间隔层是在同一道光罩制程中形成的;所述间隔层的材料与所述覆盖层的材料相同;所述彩膜面板还包括:透明电极层,所述透明电极层设置在所述玻璃基板的第二表面上,所述透明电极层用于在所述彩膜面板与薄膜晶体管阵列面板组合成显示面板后为所述显示面板屏蔽外界电场,其中,所述第二表面背向所述第一表面;所述覆盖层和所述间隔层是通过在所述黑色矩阵层和所述色阻层上涂布覆盖间隔材料层,然后对所述覆盖间隔材料层进行一次所述光罩制程来形成的;所述光罩制程所对应的掩模板为半透掩模板;所述半透掩模板包括:至少一第一区域,所述第一区域具有第一穿透率,所述第一区域用于在所述光罩制程中透过第一预定量的光线,以使得所述覆盖间隔材料层在与所述第一区域对应的部位形成所述覆盖层,其中,所述第一预定量与所述第一穿透率对应;以及至少一第二区域,所述第二区域具有第二穿透率,所述第二区域用于在所述光罩制程中透过第二预定量的光线,以使得所述覆盖间隔材料层在与所述第二区域对应的部位形成所述间隔件,其中,所述第二预定量与所述第二穿透率对应;所述色阻层还包括白色色阻块,所述间隔层的材料、所述覆盖层的材料与所述白色色阻块的材料均相同,所述覆盖层、所述间隔层和所述白色色阻块均是在同一道所述光罩制程中形成的;所述半透掩模板还包括第三区域,所述第三区域具有第三穿透率,所述第三区域用于在所述光罩制程中透过第三预定量的光线,以使得所述覆盖间隔材料层在与所述第三区域对应的部位形成所述白色色阻块,其中,所述第三预定量与所述第三穿透率对应。
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