[发明专利]一种可动镜片调整机构有效
| 申请号： | 201510590513.7 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN106547065B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 彭云平;王洪尊;马很很 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种可动镜片调整机构，包括：驱动机构组件（100）、可动镜片（200）和支撑座（300），其特征在于，所述驱动机构组件（100）安装在所述支撑座（300）上，所述可动镜片（200）安装在所述驱动机构组件（100）上；通过所述驱动机构组件（100）的运动实现所述可动镜片（200）的三个自由度调整。与现有技术相比较，本发明可动镜片调整机构克服了现有技术中存在的结构复杂、调整时出现窜动等现象，具有结构简单、稳定可靠等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镜片 调整 机构 | ||
【主权项】：
1.一种可动镜片调整机构，包括：驱动机构组件(100)、可动镜片(200)和支撑座(300)，其特征在于，所述驱动机构组件(100)安装在所述支撑座(300)上，所述可动镜片(200)安装在所述驱动机构组件(100)上；通过所述驱动机构组件(100)的运动实现所述可动镜片(200)的三个自由度调整；所述驱动机构组件(100)包括柔性铰链机构(110)，弹簧盖(120)，预载弹簧(130)和驱动电机(140)；所述柔性铰链机构(110)在H1、H2、H3和H4四处通孔，形成铰链，相当于四个支点；第一杆件(110a)、第二杆件(110b)、第三杆件(110c)、第四杆件(110d)和第五杆件(110e)形成五连杆柔性铰链机构；所述第一杆件(110a)与所述可动镜片(200)连接固定，通过所述驱动电机(140)驱动所述第三杆件(110c)做旋转运动，实现所述第一杆件(110a)做Z向运动；通过所述预载弹簧(130)，驱动所述第三杆件(110c)做反向旋转运动，实现所述第一杆件(110a)做‑Z向运动。
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