[发明专利]一种从籽晶托上剥离碳化硅籽晶的方法有效
| 申请号： | 201510587796.X | 申请日： | 2015-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN105420812B | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王波;彭同华;刘春俊;赵宁;张平;邹宇 | 申请（专利权）人： | 新疆天科合达蓝光半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 832000 新疆维吾尔自治区*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种从籽晶托上剥离碳化硅籽晶的方法。该方法主要利用氧化性酸在一定温度下可以与籽晶粘合剂——糖或有机胶等有机物发生化学反应，而碳化硅籽晶不与氧化性酸反应，从而将碳化硅籽晶从籽晶托上剥离，剥离下的籽晶通过水洗、烘干和返抛后可再用于晶体生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 剥离 碳化硅 方法 | ||
【主权项】：
1.一种从籽晶托上剥离碳化硅籽晶的方法，该方法包括：将粘有碳化硅籽晶的籽晶托置于容器中，并在容器中注入氧化性酸；然后将容器放在加热器上，缓慢将容器升温到一定温度并长时间保持恒温，所述长时间在1～60小时范围内；待氧化性酸与粘合剂完全反应，碳化硅籽晶与籽晶托完全分离后，再将容器的温度降至室温；所述粘合剂为糖或有机胶；最后将与籽晶托完全分离的碳化硅籽晶从容器中取出，并先后用大量自来水和去离子水冲洗、烘干、返抛；获得的籽晶可再次用于碳化硅晶体生长；所述氧化性酸包括浓硫酸和浓硝酸。
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