[发明专利]一种薄膜太阳能电池透明导电玻璃基板回收再利用的方法在审
| 申请号： | 201510580867.3 | 申请日： | 2015-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN105140346A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 丁友谊;张卫川;薛海蛟;张普东;王旗 | 申请（专利权）人： | 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;B23K26/362 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 郭禾苗 |
| 地址： | 251200 山东省德州*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种薄膜太阳能电池透明导电玻璃基板回收再利用的方法，包括以下步骤：一、准备过程:准备一制程失败的不良薄膜太阳能电池，其依次具有一玻璃基板、一层透明导电玻璃层和一制程失败层；该制程失败层是单层非晶硅/微晶硅薄膜或者多层非晶硅/微晶硅薄膜以及金属电极层；二、刻蚀过程：使用532nm绿光激光器，通过刻蚀时采用以下激光参数范围：激光功率≤200W，激光频率10-100KHz，线宽0.05-1.5mm，可以在不伤害玻璃基板及表面透明导电层的前提下将制程失败的单层非晶硅/微晶硅薄膜或者多层非晶硅/微晶硅薄膜以及金属电极层完全去除；三、再利用过程：激光刻蚀之后形成的包含透明导电层的该玻璃基板可以用来回收再利用，重新来生产薄膜太阳能电池。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 太阳能电池 透明 导电 玻璃 回收 再利用 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜太阳能电池透明导电玻璃基板回收再利用的方法，其特征在于，包括以下步骤：一、准备过程:准备一制程失败的不良薄膜太阳能电池，其依次具有一玻璃基板、一层透明导电玻璃层和一制程失败层；该制程失败层是单层非晶硅/微晶硅薄膜或者多层非晶硅/微晶硅薄膜以及金属电极层；二、刻蚀过程：使用532nm绿光激光器，通过刻蚀时采用以下激光参数范围：激光功率≤200W，激光频率10‑100KHz，线宽0.05‑1.5mm，基于不同物体对不同波长的光的吸收性不同的原理，具体到本发明中单层非晶硅/微晶硅薄膜或者多层非晶硅/微晶硅薄膜以及金属电极层对532nm的光有非常强的吸收，而玻璃基板及表面透明导电层对532nm的光几乎没有吸收，因此使用该方法可以可以在不伤害玻璃基板及表面透明导电层的前提下将制程失败的单层非晶硅/微晶硅薄膜或者多层非晶硅/微晶硅薄膜以及金属电极层完全去除；三、再利用过程：激光刻蚀之后形成的包含透明导电层的该玻璃基板可以用来回收再利用，重新来生产薄膜太阳能电池。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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