[发明专利]波浪形微型气相色谱柱及其制备方法有效
| 申请号： | 201510577996.7 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105126387B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 杜晓松;袁欢;赵栩澜;吴朋林;蒋亚东 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | B01D15/18 | 分类号： | B01D15/18 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 敖欢,葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种波浪形微型气相色谱柱，包括硅基板、玻璃顶盖，硅基板上刻蚀有横截面为矩形的深槽，深槽经玻璃顶盖闭合后形成微流道，微流道内壁涂覆有固定相薄膜，微流道在硅基板平面上的投影图形含有多段规则的波浪形曲线；本发明还提供一种波浪形微型气相色谱柱的制备方法，包括步骤光刻版设计、掩模制备、光刻、DRIE刻蚀、阳极键合、划片、固定相涂覆；本发明的有益效果是载气流速由于沟槽弯曲的结构而减缓，保证了气体分子与固定相的充分接触，增大沟槽里流动相和固定相的作用以得到高的分离效率；同时对比于直线型沟槽，在给定的面积上实现了更长的柱长，固定相的表面积也相对增大从而增大了气体分配系数，提高了柱效。 | ||
| 搜索关键词： | 波浪形 微型 色谱 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种波浪形微型气相色谱柱，包括硅基板和硅基板上方的玻璃顶盖，硅基板上刻蚀有横截面为矩形的深槽，深槽经玻璃顶盖闭合后形成微流道，微流道内壁涂覆有固定相薄膜，其特征在于：微流道在硅基板平面上的投影图形含有多段规则的波浪形曲线，波浪形曲线由上下两个小圆弧拼接而成，小圆弧对应的圆心角的范围为120°‑150°，曲率半径为20％W‑50％W，其中W为微流道宽度，微流道的间距是40μm，两段相邻的波浪形曲线之间采用180°的大圆弧相连。
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