[发明专利]一种立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法

摘要

本发明涉及一种立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法，属超硬材料应用领域。采用物理气相沉积法在立方氮化硼微粉颗粒表面镀膜，在物理气相沉积设备的靶材室装入金属或合金阴极靶材，然后将立方氮化硼微粉放入滚筒式沉积台；关闭镀膜室门，设定气相沉积参数，进行物理气相沉积镀膜；将镀膜后的立方氮化硼微粉在真空热处理炉中进行热处理，即得到表面金属化改性的立方氮化硼颗粒粉体。本发明方法适用材料范围广、操作简便、环境友好、能耗低，所镀涂层均匀完整，不易脱落，可实现规模化生产。表面金属化改性后的cBN微粉颗粒热稳定性和化学稳定性提高。

主权项

1.一种立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法，包括以下步骤：(1)采用物理气相沉积法在立方氮化硼微粉颗粒表面镀膜，在物理气相沉积设备的镀膜室装入金属或合金阴极靶材，然后将立方氮化硼微粉放入滚筒式沉积台；关闭镀膜室门，设定气相沉积参数，进行物理气相沉积镀膜；立方氮化硼微粉的费氏粒度≤3.0μm，阴极靶材为钨、钼、钛、钒、铬、钴、镍、铝单质或其合金，阴极靶材为两种以上不同的金属或合金靶材，两种以上靶材交替沉积，得到的金属膜层为多层，或者两种以上靶材共沉积，得到的金属膜层为合金层；物理气相沉积过程中，预抽本底真空至3.0×10‑3Pa以下，通入工作气体Ar气，镀膜过程中溅射气压设定在0.1～10Pa；样品加热温度为100～400℃；靶材功率密度范围为5～30W/cm2；滚筒式沉积台的转速为12～50r/min；振动系统的振动频率为10～50Hz；镀膜时间为0.5～20h；(2)将镀膜后的立方氮化硼微粉在真空热处理炉中进行热处理，热处理的温度为400～1400℃，热处理保温时间为20～120min，即得到表面金属化改性的立方氮化硼颗粒粉体。