[发明专利]一种自适应抛光磨头有效
| 申请号: | 201510562614.3 | 申请日: | 2015-09-07 |
| 公开(公告)号: | CN105127889B | 公开(公告)日: | 2017-06-23 |
| 发明(设计)人: | 王飞;马占龙;彭利荣;王高文;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号: | B24B41/04 | 分类号: | B24B41/04;B24B41/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 130000 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种自适应抛光磨头,包括法兰基座(1),在法兰基座(1)的下方于其同心装配有磨头基座(2),在磨头基座(2)的下表面分布设置有磨头单元(3),其中,所述磨头单元(3),包括,子基座(31)、子磨头(32)以及子基套(33),在进行抛光工作时,子磨头(32)可依据抛光加工面相对子基座(31)进行自适应移动,提高子磨头(32)与抛光加工面的贴合度,改善抛光质量,该自适应抛光磨头可用于非球面的预抛光加,具有加工精度高、结构简单,设计合理等优点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 自适应 抛光 | ||
【主权项】:
一种自适应抛光磨头,其特征在于,包括:法兰基座(1);磨头基座(2),其位于所述法兰基座(1)的下方,且与所述法兰基座(1)同心装配;磨头单元(3),其分布设置于所述磨头基座(2)的下表面;其中,所述磨头单元(3),包括,子基座(31),其一端与所述磨头基座(2)的下表面固定连接,且在所述子基座(31)内设置有贯通上下的腔体(311);子磨头(32),其具有连接部和抛光部,其中,所述连接部位于所述腔体(311)内,与所述腔体(311)的内壁间隙配合,且所述连接部的端部与所述磨头基座(2)的下表面弹性相接;子基套(33),其套装于所述子基座(31)和所述子磨头(32)的外部,用于对所述子磨头(32)进行移动限位;所述磨头基座(2)的下表面为弧面,且所述弧面的曲率半径与抛光加工面的最佳拟合球面曲率半径相关;所述磨头基座(2)的下表面曲率半径R1具体为:R1=R‑H+2mm,其中,所述R为抛光加工面的最佳拟合球面曲率半径,所述H为所述磨头单元(3)空载条件下的高度。
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