[发明专利]一种自适应抛光磨头有效

专利信息
申请号: 201510562614.3 申请日: 2015-09-07
公开(公告)号: CN105127889B 公开(公告)日: 2017-06-23
发明(设计)人: 王飞;马占龙;彭利荣;王高文;隋永新;杨怀江 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: B24B41/04 分类号: B24B41/04;B24B41/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 130000 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开了一种自适应抛光磨头,包括法兰基座(1),在法兰基座(1)的下方于其同心装配有磨头基座(2),在磨头基座(2)的下表面分布设置有磨头单元(3),其中,所述磨头单元(3),包括,子基座(31)、子磨头(32)以及子基套(33),在进行抛光工作时,子磨头(32)可依据抛光加工面相对子基座(31)进行自适应移动,提高子磨头(32)与抛光加工面的贴合度,改善抛光质量,该自适应抛光磨头可用于非球面的预抛光加,具有加工精度高、结构简单,设计合理等优点。
搜索关键词: 一种 自适应 抛光
【主权项】:
一种自适应抛光磨头,其特征在于,包括:法兰基座(1);磨头基座(2),其位于所述法兰基座(1)的下方,且与所述法兰基座(1)同心装配;磨头单元(3),其分布设置于所述磨头基座(2)的下表面;其中,所述磨头单元(3),包括,子基座(31),其一端与所述磨头基座(2)的下表面固定连接,且在所述子基座(31)内设置有贯通上下的腔体(311);子磨头(32),其具有连接部和抛光部,其中,所述连接部位于所述腔体(311)内,与所述腔体(311)的内壁间隙配合,且所述连接部的端部与所述磨头基座(2)的下表面弹性相接;子基套(33),其套装于所述子基座(31)和所述子磨头(32)的外部,用于对所述子磨头(32)进行移动限位;所述磨头基座(2)的下表面为弧面,且所述弧面的曲率半径与抛光加工面的最佳拟合球面曲率半径相关;所述磨头基座(2)的下表面曲率半径R1具体为:R1=R‑H+2mm,其中,所述R为抛光加工面的最佳拟合球面曲率半径,所述H为所述磨头单元(3)空载条件下的高度。
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