[发明专利]微测量电极的制作方法和热电势的测量方法及相关装置有效
| 申请号： | 201510547780.6 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN105203825B | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 王汉夫;李晓笑;褚卫国;金灏;熊玉峰 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;G01R3/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆,胡彬 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种微测量电极的制作方法和微尺度样品热电势的测量方法。其中，所述的微测量电极的制作方法包括制作镂空掩模板，所述镂空掩模板包括至少一个加热器及加热器接线端的镂空图形，和第一电阻温度计和第二温度计的镂空图形，所述温度计的镂空图形包括测温金属线和接线端的镂空图形；将承载有微尺度样品的衬底与所述镂空掩模板对准固定，形成镂空掩模板‑衬底复合体；将所述镂空掩模板‑衬底复合体进行金属沉积；移除镂空掩模板。采用本发明实施例所提供的技术方案，能够避免可能出现的由于采用光刻‑剥离工艺所产生化学污染使得样品的热电传输性质发生变化的情况，进而提高测量微尺度样品热电传输性质的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 电极 制作方法 电势 测量方法 相关 装置 | ||
【主权项】：
一种微测量电极的制作方法，其特征在于，包括：制作镂空掩模板，所述镂空掩模板包括至少一个加热器及加热器接线端的镂空图形，和第一电阻温度计和第二温度计的镂空图形，所述温度计的镂空图形包括测温金属线和接线端的镂空图形；将承载有微尺度样品的衬底与所述镂空掩模板对准固定，形成镂空掩模板‑衬底复合体；将所述镂空掩模板‑衬底复合体进行金属沉积；从金属沉积后的镂空掩模板‑衬底复合体中移除镂空掩模板。
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