[发明专利]一种基于介电润湿的微液滴驱动器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201510547129.9 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN105233887B | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 吴天准;李丽军;吴佳豪;栾琳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于介电润湿的微液滴驱动器件，包括上下两层芯片，其中，上层芯片包括上基板及依次设置在上基板表面的参考电极层和疏水层；下层芯片包括下基板及依次设置在所述下基板表面的控制电极阵列和功能层，所述功能层的材质为CYTOP；上层芯片的疏水层与下层芯片的功能层相对设置，上下两层芯片之间由支撑物进行机械连接形成容纳微液滴的空间，参考电极层与控制电极阵列均通过导线与控制电路进行电连接。该微液滴驱动器件的结构简单，下层芯片中由一层CYTOP层替代现有技术中疏水层和介电层组成的两层结构，该微液滴驱动器件所需驱动电压低，可实现对微液滴的灵活操控。本发明还提供了该微液滴驱动器件的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 润湿 微液滴 驱动 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于介电润湿的微液滴驱动器件，其特征在于，所述微液滴驱动器件包括上下两层芯片，其中，所述上层芯片包括上基板及依次设置在所述上基板表面的参考电极层和疏水层；所述下层芯片包括下基板及依次设置在所述下基板表面的控制电极阵列和功能层，所述功能层的材质为CYTOP，所述功能层的厚度为0.5‑1μm；所述上层芯片的疏水层与所述下层芯片的功能层相对设置，所述上下两层芯片之间由支撑物进行机械连接形成容纳微液滴的空间，所述参考电极层与所述控制电极阵列均通过导线与控制电路进行电连接。
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