[发明专利]一种激光精密模压制备薄膜的方法、模压装置及脱模装置

摘要

本发明公开了一种激光精密模压制备薄膜的方法、模压装置及脱模装置，目的在于解决目前采用精密模压制备薄膜型零件时，当零件尺寸变薄，材料本身的机械强度变小，零件与模具间的界面结合力以及摩擦力将起主要作用，导致薄膜型零件脱模困难的问题。该方法如下步骤样品安装、预变形、加热模压、防开裂退火、脱模。本发明属于“等量变形”方法，产生的废物少，对环境造成的危害很小，且加工速度快、效率高，时间短，能够满足工业化大规模批量生产的需要，具有较好的应用前景。本发明能制备出厚度达1微米的金属薄膜，且薄膜致密、表面粗糙度小、平行度及平面度优，成品率高。

主权项

一种激光精密模压制备薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）样品安装分别取模压模具、模压金属原料，将模压金属原料放入模压模具内；（2）预变形对步骤（1）中的模压模具加压，使模压模具内的模压金属原料预变形；（3）加热模压保持压力，并采用连续激光加热模压金属原料至250~300℃，加压至待模压金属屈服强度的2~3倍压强，保持温度和压力2~10min；（4）防开裂退火待步骤（3）完成后，保持压力，并使激光停止加热，待模压模具降温至模压金属原料的退火温度后，调节压力至待模压金属屈服强度的1~2倍压强，再次采用连续激光加热模压模具内的金属材料，使金属材料的温度保持在模压金属原料的退火温度，保温保压10~120min；（5）脱模待模压模具、模压模具内的薄膜冷却后，缓慢将模压模具分离，薄膜粘附于模压模具的一侧模具，将粘附有薄膜的一侧模具记为第一模具，采用纳秒脉冲激光穿过第一模具，并辐照薄膜边缘，薄膜瞬时被加热，产生冲击波，在冲击波作用下，受冲击的薄膜边缘部分卷曲，待薄膜边缘部分卷曲后停止纳秒脉冲激光加热，夹持薄膜边缘卷曲部分，将薄膜从第一模具上剥离即可，即得薄膜。