[发明专利]一种多样化有源像素生物传感探测系统有效

专利信息
申请号: 201510527830.4 申请日: 2015-08-25
公开(公告)号: CN105206634B 公开(公告)日: 2018-10-16
发明(设计)人: 马汉彬;李嘉浩;苏阳;阿洛基亚那桑 申请(专利权)人: 南京剑桥新港科技发展有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H04N5/374
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 陈建和
地址: 210038 江苏省南京市经济技术开发*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种多样化有源像素生物传感探测系统,包括基于大面积电子电路制造工艺的一次性生物传感像素电路即TFT生物传感像素电路和重复利用的基于CMOS信号处理芯片结合在一道;生物传感像素电路部分与信号处理芯片实现分离;TFT生物传感像素电路基于大面积电子电路制造技术,采用各种真空镀膜工艺:热蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、气相沉积镀膜、分子层沉积镀膜;各种基于溶液法的半导体器件系统制备工艺进行制备:旋涂、滴途、喷墨打印、平板打印。一种多样化有源像素生物传感探测系统,其包括基于TFT生物传感像素电路和可重复利用的CMOS处理芯片。同时实现对生物样本的光学和电学的大规模检测。
搜索关键词: 一种 多样化 有源 像素 生物 传感 探测 系统
【主权项】:
1.一种多样化有源像素生物传感探测系统,其特征在于:包括基于大面积电子电路制造工艺的一次性生物传感像素电路即TFT生物传感像素电路和重复利用的基于CMOS信号处理芯片结合在一道;生物传感像素电路部分与信号处理芯片实现分离;TFT生物传感像素电路基于大面积电子电路制造技术,采用各种真空镀膜工艺:热蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、气相沉积镀膜、分子层沉积镀膜;各种基于溶液法的半导体器件系统制备工艺进行制备:旋涂、滴途、喷墨打印、平板打印。
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