[发明专利]一种微模具的复合加工方法

摘要

本发明涉及一种微模具的复合加工方法，该方法对于微模具图形的外围区域，采用机械切削加工方式，去除多余材料，定义图形区域轮廓，实现高质量的加工表面；对于微模具图形区域，利用等离子体刻蚀技术制备的钨工具电极，采用微细电火花加工方式，实现图形的精确转移，保证加工精度和效率。本发明结合精密机械加工和微细电火花加工的技术优势，采用机械切削加工方式去除微模具图形外围多余材料，能够减小后续微细电火花的放电面积，避免过多电蚀产物的集聚，提高放电过程的稳定性，保证微细电火花加工的尺寸精度和表面质量，同时放电面积减小，可以缩短微细电火花加工时间，提高加工效率，满足快速的市场响应。

主权项

一种具有高表面质量的微模具的复合加工方法，其特征在于，包括如下步骤：1)对于微模具图形的外围区域，采用机械切削加工方式去除多余材料，以减小后续微细电火花加工的放电面积，并定义微模具的图形区域轮廓；所述采用机械切削加工方式去除多余材料，首先利用机械铣削加工快速去除微模具图形外围的多余材料，然后进行机械磨削加工以提高表面质量；2)对于微模具图形区域，利用钨工具电极进行微细电火花加工，实现微模具图形的精确转移。