[发明专利]通过变压吸附纯化三氟化氮

摘要

本发明公开了使用以相对于四氟化碳(CF₄)表现出对NF₃的选择性的吸附剂装填的柱从CF₄污染的进料气体产生纯化的三氟化氮(NF₃)产物气体的变压吸附方法。该方法在基本上回收所有NF₃的同时，在不使用惰性载气的情况下将进料气体分离成具有比进料气体更高浓度的CF₄的第一产物气体和具有比进料气体更低浓度的CF₄的第二产物气体。该方法包括用进料气体填充柱直到柱达到第一压力，移除第一产物气体，和然后移除第二产物气体，其中在移除第二产物气体后，柱处于第二压力下。NF₃和CF₄的清洗气体可以用于移除第一产物气体或第二产物气体。

主权项

一种用于纯化三氟化氮(NF₃)的方法，所述方法包括：用第一体积的基本上由NF₃和四氟化碳(CF₄)组成的进料气体填充吸附柱直到所述吸附柱达到大于吸附柱初始压力的第一压力，其中所述吸附柱包含相对于CF₄选择性吸附NF₃的吸附材料，由此所述吸附材料吸附一部分进料气体，该吸附部分具有比未吸附部分更高浓度的NF₃；从所述吸附柱移除具有比进料气体更高浓度的CF₄的第一产物气体；和在移除所述第一产物气体后，从所述吸附柱移除具有比进料气体更低浓度的CF₄的第二产物气体，其中在移除所述第二产物气体后，所述柱具有低于所述第一压力的第二压力。