[发明专利]斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法

摘要

本发明公开了一种斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法。两种波长同时工作时通过采用二向色镜实现了单波长移相干涉图的采集，同时仅需针对部分光路进行消色差设计实现两种波长下的工作。其次，针对传统双波长移相干涉测试装置采用PZT移相而引起的不同波长下移相误差的问题，采用合成波长结合单波长相位处理的方式，抑制了不同波长下移相误差对合成波长相位的影响，避免两种波长下移相步进量进行标定。该方法同样对不同波长下的振动、多光束干涉等误差有效。由于仅需控制单个波长下的测试精度，因此该方法对合成波长相位数据的提取过程快速简单。

主权项

1.一种基于斐索式双波长干涉测试装置的合成波长相位提取方法，其特征在于，步骤如下：步骤一：搭建斐索式双波长干涉测试装置：步骤二：采用上述斐索式双波长干涉测试装置测试待测平面镜(10)时，控制PZT移相器(9)，按照λ₁的π/2为相移步进量进行移相，同步实现对待测平面镜(10)的双波长干涉检测；步骤二：根据采集到的波长为λ₁的移相干涉图，求解λ₁的压包相位根据采集到的波长为λ₂的移相干涉图，求解λ₂的压包相位所述λ₂的压包相位含有移相误差；步骤三：根据双波长测试原理，对两种波长下的压包相位差分，可以得到其包含移相误差的合成波长相位为且合成波长的相位恢复误差即为λ₂相位的相位恢复误差步骤四：对包含移相误差的合成波长相位进行相位解包，得到其解包相位其包含的相位恢复误差仍为步骤五：根据参考平面镜(8)与待测平面镜(10)在不同波长下光程差的一致性，即合成波长与单波长光程差数据重合的特点，利用包含移相误差的合成波长相位的解包相位结合不含相移误差的波长λ₁压包相位进行解包，得到校正后的相位值Φ_correct：其中round为取整操作。