[发明专利]基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201510519541.X | 申请日： | 2015-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN106467958B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 姜欣;王永欣;李金龙;鲁侠;陈建敏;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层及其制备方法。该复合涂层由硬质相多晶CrC与润滑相纳米晶碳nc‑C组成，并且以多晶CrC为基质，nc‑C镶嵌在该多晶CrC基质中，形成“内晶型”的nc‑C/CrC复合涂层，该涂层硬度高达40GPa以上，磨损率达10‑16m3/N·m量级。本发明采用多弧离子镀技术，以金属Cr为靶材，高纯Ar为工作气体，C2H2为反应气体制备该nc‑C/CrC复合涂层，通过控制基体负偏压调控涂层中CrC与碳的结晶状态和纳米团聚特征，在切削加工刀具以及其它机械运动零部件等领域具有良好的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 复合涂层 多晶 制备 自润滑涂层 基体表面 纳米复合 碳化铬 基质 机械运动 切削加工刀具 多弧离子镀 基体负偏压 反应气体 工作气体 结晶状态 涂层硬度 磨损率 纳米晶 润滑相 硬质相 靶材 高纯 晶型 零部件 团聚 镶嵌 金属 调控 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层，其特征是：由硬质相多晶CrC与润滑相纳米晶碳nc‑C组成，并且以多晶CrC为基质，nc‑C镶嵌在该多晶CrC基质中，形成nc‑C/CrC复合涂层。
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