[发明专利]一种高均匀性单晶硅片制绒液及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高均匀性单晶硅片制绒液，其特征是由下述重量份的原料制得：氢氧化钠0.5-1，羟丙基瓜尔胶0.3-0.5，二丙二醇甲醚0.1-0.2，太古油0.3-0.5，月桂基磺化琥珀酸单酯二钠0.3-0.5，植酸钠0.5-1，助剂3-5，羟基硅油0.05-0.1，水80-100。本发明的制绒液有效改善了制绒工艺的一致性和可重复性，提升了绒面密度，有效提高绒面尺寸和密度的均匀性，改善产品质量；不含IPA，有利于环境保护和人体健康，安全环保。

主权项

一种高均匀性单晶硅片制绒液，其特征在于，其是由下述重量份的原料制得：氢氧化钠0.5‑1，羟丙基瓜尔胶0.3‑0.5，二丙二醇甲醚0.1‑0.2，太古油0.3‑0.5，月桂基磺化琥珀酸单酯二钠0.3‑0.5，植酸钠0.5‑1，助剂3‑5，羟基硅油0.05‑0.1，水80‑100；所述助剂由下列重量份的原料制成：皂角10‑15，纳米二氧化钛0.1‑0.15，过硫酸铵0.1‑0.2，乙酸乙烯酯1‑1.5，碳酸氢钠0.2‑0.4，十二烷基葡糖苷1‑2，水100‑150；助剂的制备方法是将皂角粉碎磨粉，将得到的皂角粉与碳酸氢钠、十二烷基葡糖苷共同加入水中70‑80℃、200‑400r/min搅拌4‑6h，冷却后过滤，向滤液中加入乙酸乙烯酯和纳米二氧化钛并超声分散5‑10min，然后加入2‑5%的过硫酸铵溶液70‑80℃搅拌1‑2h，冷却后过滤，即得。