[发明专利]超声波清洗装置有效
| 申请号： | 201510511126.X | 申请日： | 2015-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN105032835B | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 杨端;王彪;左长云;邓光鹤;高立松;孙强;赵磊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种超声波清洗装置，包括超声波发生仪和载台，其中，所述载台包括彼此相对的第一面和第二面，所述第一面与所述第二面之间设置有贯穿所述载台的多个通孔；所述载台的第一面用于放置待清洗件，所述超声波发生仪设置在所述载台的所述第二面一侧。采用本发明的超声波清洗装置，可有效清洗玻璃基板或其他待清洗件背面的杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种超声波清洗装置，包括超声波发生仪和载台，其中，所述载台包括彼此相对的第一面和第二面，所述第一面与所述第二面之间设置有贯穿所述载台的多个通孔；所述载台的第一面用于放置待清洗件，所述超声波发生仪设置在所述载台的所述第二面一侧，以通过超声波振动使得所述待清洗件表面的异物粒子脱离，多个所述通孔配置为使得至少部分从所述待清洗件的靠近所述第一面的表面脱离的异物粒子通过。
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