[发明专利]干涉信号量测系统

摘要

本发明实施例提供一种干涉信号量测系统，其包括波源、纵向扫描装置、第一侦测装置、第二侦测装置以及路径界定模组。来自波源的波经由第一、第二以及第三路径传递至待测物、纵向扫描装置以及第二侦测装置。被待测物反射的波经由第四路径传递至第一侦测装置。被纵向扫描装置反射的波经由第五以及第六路径传递至第一以及第二侦测装置。路径界定模组包括至少一信号延迟装置，且至少一信号延迟装置位于第三至第六路径的其中至少一者上，以影响第三至第六路径的其中至少一者的路径长度。本发明实施例的干涉信号量测系统可在维持待测物的完整性的前提下，精准地量测待测物的表面形貌以及内部界面。

主权项

一种干涉信号量测系统，其特征在于，包括：波源；纵向扫描装置；第一侦测装置；第二侦测装置；以及路径界定模组，路径界定模组适于界定多个路径，所述路径包括第一路径、第二路径、第三路径、第四路径、第五路径以及第六路径，其中来自所述波源的波经由所述第一路径、所述第二路径以及所述第三路径传递至待测物、所述纵向扫描装置以及所述第二侦测装置，被所述待测物反射的所述波经由所述第四路径传递至所述第一侦测装置，被所述纵向扫描装置反射的所述波经由所述第五路径以及所述第六路径传递至所述第一侦测装置以及所述第二侦测装置，所述路径界定模组包括至少一信号延迟装置，且所述至少一信号延迟装置位于所述第三路径、所述第四路径、所述第五路径以及所述第六路径的其中至少一者上，以影响所述第三路径、所述第四路径、所述第五路径以及所述第六路径的其中至少一者的路径长度，使所述第一侦测装置接收来自所述第四路径的所述波与来自所述第五路径的所述波所产生的第一干涉信号，且所述第二侦测装置接收来自所述第三路径的所述波与来自所述第六路径的所述波所产生的第二干涉信号。