[发明专利]一种氟化物陶瓷坩埚及其制造方法

摘要

本发明公开了一种氟化物陶瓷坩埚及其制备方法，该坩埚基体材料由氟化物陶瓷粉构成，将氟化物陶瓷粉热处理，之后将处理后的氟化物陶瓷粉破碎、过筛；往过筛后的氟化物陶瓷粉中加入烧结助剂，混合均匀，过筛；将筛下粉装入设计好的坩埚模具中进行预成型；将成型后的氟化物坩埚进行烧结，最后机加工至产品要求规格。本发明主要应用在干法中的氟化挥发流程的设备中，该种坩埚在氟化挥发法后处理乏燃料的过程中，能够提供稳定的反应环境，防止氟气和氟化挥发物对设备的腐蚀，保障生产安全进行。

主权项

一种氟化物陶瓷坩埚的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：氟化物陶瓷粉前处理步骤：将氟化物陶瓷粉进行热处理，之后将所述热处理后的氟化物陶瓷粉破碎、过筛，从而得到筛下氟化物陶瓷粉；所述热处理在真空条件下进行，所述热处理的温度为600～800℃，所述热处理的时间为1～2h；所述过筛是指过80目网筛；成型步骤：将所述筛下氟化物陶瓷粉装入设计好的坩埚模具中进行预成型，从而得到坩埚坯；烧结步骤：将所述坩埚坯进行烧结，之后经机加工后得到至符合产品要求规格的氟化物陶瓷坩埚。