[发明专利]一种非制冷红外焦平面阵列探测器及其制造方法

摘要

本发明实施例公开了一种非制冷红外焦平面阵列探测器及其制造方法，其包括：外壳；基板，连接在外壳上；探测芯片，安装在基板上；微型真空计探头，安装在基板上；光窗，安装在外壳的开口端上，并与外壳围成密闭空间；吸气剂，该吸气剂形成在光窗面向密闭空间的一侧上。本发明的实施例中的非制冷红外焦平面阵列探测器及其制造方法，不需要传统的排气嘴和热电制冷器，极大地缩短了排气周期，减小了器件体积，提高了可靠性，其成本低，体积小，效率高，制造过程简便。

主权项

一种非制冷红外焦平面阵列探测器，其特征在于，包括：外壳，所述外壳包括底壁和从所述底壁周缘向上延伸的侧壁，所述底壁和所述侧壁围成一端开口的空间；基板，所述基板包括第一端面和与第一端面相反的第二端面，所述第一端面连接到所述底壁上；探测芯片，所述探测芯片安装在所述基板的所述第二端面上；微型真空计探头，所述微型真空计探头安装在所述基板上；光窗，所述光窗安装在所述外壳的开口端上，并与所述外壳围成密闭空间，并且所述基板、所述探测芯片和所述微型真空计探头位于所述密闭空间内；吸气剂，所述吸气剂涂敷在所述光窗面向所述密闭空间的一侧上。