[发明专利]一种异质结太阳电池电镀铜电极的制备方法

摘要

本发明公开了一种异质结电池电镀铜电极的制备方法，包括如下步骤：A.绝缘减反射膜沉积；B.激光刻画；C．电镀；D.后续工艺等步骤。本发明由于形成双减反射层结构，使异质结电池反射率可降低到4%以下；同时，本发明由于采用了技术成熟、成本较低的激光工艺，避免了光刻所带来设备以及材料成本的增加及产品良率的降低，优化了异质结电池的电镀铜工艺，提高了产品的性能，降低了生产成本。

主权项

 一种异质结电池电镀铜电极的制备方法，包括如下步骤：A. 绝缘减反射膜沉积：硅片经制绒清洗、非晶硅沉积、TCO薄膜沉积后，在TCO薄膜表面沉积一层绝缘减反射膜；调节该减反射膜厚度与工艺参数，使其与TCO薄膜的折射率和电学性能匹配，形成双减反射层结构；B. 激光刻画：以绝缘减反射膜为掩膜层，利用激光烧灼掉所设计电极图形处的绝缘减反射膜，清洗后露出下方的TCO薄膜，即电镀铜附着位置；C．电镀：通过电镀在目标图形处制备铜电极；D. 后续工艺：电镀完成后，不需腐蚀掉绝缘减反射膜的掩膜层，即可进行异质结电池的下一步工艺步骤。