[发明专利]用于化学气相沉积的进气口元件及其制造方法

摘要

用于化学气相沉积反应器(10)的进气口元件由多个长形的管状元件(64，65)构成，该多个长形的管状元件相互肩并肩地设置在一个垂直于反应器上下游方向的平面上。所述管状元件具有用于沿下游方向排放气体的进气口。晶片载体(14)绕着上游至下游的轴旋转。气体分布元件可以提供这样的气体分布模式：气体分布关于延伸穿过所述轴的中间平面(108)为非对称。

主权项

1.一种用于化学气相沉积反应器的进气口元件，其特征在于，包括：多个长形元件，这些长形元件相互平行延伸并相互机械连接，使得所述长形元件合作界定了具有上游侧和下游侧的歧管板，所述歧管板具有位于相邻长形元件之间的、从上游侧延伸至下游侧的底部进气开口；一结构，该结构界定了位于所述歧管板的上游处的一个或多个气体间隙，并与所述底部进气开口相通，所述一个或多个气体间隙由所述歧管板和所述进气口元件的顶板形成；与气体分布通道相通的多个额外进气口，这些额外进气口开向所述歧管板的下游侧；以及沿着至少其中一些长形元件延伸、并从这些长形元件处向下游突出的长形的扩散器，至少其中一些额外进气口从所述气体分布通道延伸穿过所述扩散器，到达远离所述气体分布通道的所述扩散器的下游边缘。