[发明专利]组合式吸附剂除去氟化物的方法

摘要

本发明公开了一种组合式吸附剂除去氟化物的方法，包括下列步骤：将气体送入除湿器除湿，使气体含水量不超过0.8wt％；将除湿后的气体送入吸附装置进行吸附，吸附装置含有串联设置的两种类型吸附剂，第一吸附剂为比表面积为2000m²/g以上活性炭，第二吸附剂为膨润土活性吸附剂。本发明的处理方法适用于处理半导体或光电产业的干蚀刻工艺及化学气相沉积(CVD)设备所排放的含有氟化合物的气体，此外，本发明的处理方法及活性吸附剂也并非仅限用于半导体或光电产业。本发明的工艺具有较高的氟去除率，工艺简单高效。

主权项

组合式吸附剂除去氟化物的方法，其特征在于包括下列步骤：将气体送入除湿器除湿，使气体含水量不超过0.8wt％；将除湿后的气体送入吸附装置进行吸附，吸附装置含有串联设置的两种类型吸附剂，第一吸附剂为比表面积为2000m²/g以上活性炭，第二吸附剂为膨润土活性吸附剂，膨润土活性吸附剂的制备方法如下：首先制备铝基膨润土，将膨润土和5‑10wt％氯化铝溶液混合搅拌，静置沉降，取出上清液留用，固液分离后将得到固体经干燥、粉碎、筛分得到铝基膨润土；接着进行溶液聚合反应，将铝基膨润土和甲基丙烯酸酯单体混合并溶于蒸馏水中，加入引发剂偶氮二异丁腈和交联剂甲醛溶液，继续搅拌，得到的固相在60～80℃保温1‑24小时；最后将固相真空干燥4～6小时，筛分后得到改性膨润土，其中聚甲基丙烯酸酯占总体的30～45wt％，铝基膨润土占总体的55～70wt％，随后改性膨润土浸渍负载占改性膨润土5‑8wt％的五氧化二钒即得第二吸附剂，第一吸附剂和第二吸附剂的质量比为5‑3：2‑10，第二吸附剂的反应温度在450‑520℃。