[发明专利]基板分离装置与基板分离方法

摘要

一种基板分离装置与基板分离方法，该基板分离装置包含一基座和两吹气装置，该两吹气装置分别位于该基座的相对两侧，且每一吹气装置具有至少两出气口，每一吹气装置的该两出气口为左右间隔，其中各该吹气装置的该两出气口用于提供两道气流，该两道气流的气流方向相互远离，且每一吹气装置的该两道气流的气流方向，与另一吹气装置的该两道气流的气流方向为对称或至少大致对称。本发明可使硅晶片有效分离并且可维持在一定漂浮高度而不倾斜，以避免硅晶片产生粘片的问题。

主权项

一种基板分离装置，其特征在于，包含：一个基座，以及两个分别位于该基座的相对两侧的吹气装置，每一个吹气装置具有至少两个出气口，每一个吹气装置的该两个出气口为左右间隔；其中，各该吹气装置的该两个出气口用于提供两道气流，该两道气流的气流方向相互远离，且每一个吹气装置的该两道气流的气流方向，与另一个吹气装置的该两道气流的气流方向为对称或至少大致对称。