[发明专利]一种快速高效的抛光浆料配方在审
| 申请号： | 201510476310.5 | 申请日： | 2015-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN106433477A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王芸芸 | 申请（专利权）人： | 南通茂鑫工艺品有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226500 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速高效的抛光浆料配方，其特征在于：所述抛光浆料由二氧化钛磨料、单乙醇胺添加剂、聚乙二醇分散剂、氢氧化钠PH调节剂以及纯水组成；所述二氧化钛磨料、添加剂、分散剂、PH调节剂以及纯水的质量比为：1～5:0.1～0.3:0～1:0～1:100。本发明的优点在于：本发明通过合理使用添加剂，大大改善了二氧化钛颗粒表面性质，提高了抛光速率、对单晶硅片不产生表面缺陷、并降低表面粗糙度，从而实现对硅片的高效超高精度化学机械抛光，保证硅片表面的质量；本发明的抛光液为碱性，抛光后清洗方便，磨料选用锐钛矿型二氧化钛，从而使成本大大降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 高效 抛光 浆料 配方 | ||
【主权项】：
一种快速高效的抛光浆料配方，其特征在于：所述抛光浆料由二氧化钛磨料、单乙醇胺添加剂、聚乙二醇分散剂、氢氧化钠PH调节剂以及纯水组成；所述二氧化钛磨料、添加剂、分散剂、PH调节剂以及纯水的质量比为：1～5:0.1～0.3:0～1:0～1:100。
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