[发明专利]一种基于石墨烯/金属复合导线的片上电感及其制备方法在审
| 申请号： | 201510474020.7 | 申请日： | 2015-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN105118821A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;王国平;刘胜;丁文 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L21/02 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 张火春 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯/金属复合导线的片上电感及其制备方法，属于微电子器件技术领域。该片上电感包括衬底，衬底上设有由石墨烯/金属复合导线组成的电感线圈，所述石墨烯/金属复合导线包括金属导线及其外表面包裹的石墨烯膜。其制法为：（1）在衬底、转印有石墨烯的绝缘基片上或生长有二氧化硅的半导体基片上淀积金属膜，将金属膜刻蚀成金属电感线圈；（2）在金属电感线圈上覆盖石墨烯膜，即得基于石墨烯/金属复合导线的片上电感。其优点为：本发明提高了片上电感的品质因数、导热性、抗氧化能力、载流能力及高频工作性能，且单层石墨烯包覆在金属导线表面，对片上电感尺寸影响甚微，而且实现工艺简单，具有很强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 金属 复合 导线 电感 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于石墨烯/金属复合导线的片上电感，其特征在于：包括衬底，衬底上设有由石墨烯/金属复合导线组成的电感线圈，所述石墨烯/金属复合导线包括金属导线及其外表面包裹的石墨烯膜；所述衬底为绝缘基片或半导体基片；当衬底为半导体基片时，衬底与电感线圈间设有绝缘介质层。
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