[发明专利]一种外部控温型智能气敏分析装置

摘要

本发明属于气敏分析系统领域，特别涉及一种外部控温型智能气敏分析装置，其特点是可实现对材料气敏特性的直接分析，摆脱了材料气敏特性研究对传感器件的依赖。发明所述的外部控温型气敏分析装置包括测试平台(1)、气室(2)、控制系统(3)、冷却水循环箱(4)、真空泵(5)、动态配气系统(6)及测试软件(7)，测试平台(1)内部包括控温装置(11)、探针调节装置(12)、液体蒸发器(13)、风扇(14)、照明(15)、真空计(16)、抽真空通道(17)、气路(18)和温湿度传感器(19)；所述控温装置(11)包括样品测试台(111)、内埋的加热(112)、温度传感器(113)以及加热(112)周围包覆的水冷保护系统(114)，可直接对测试样品进行外部控温；所述探针调节装置(12)包括调节支架(121)和弹性探针(122)，通过调整调节支架(121)可调节弹性探针(122)与测试样品的接触点。

主权项

一种外部控温型智能气敏分析装置的测试方法，所述分析装置包括：测试平台(1)、气室(2)、控制系统(3)、冷却水循环箱(4)、真空泵(5)、动态配气系统(6)及测试软件(7)装置，测试平台(1)内部包括控温装置(11)、探针调节装置(12)、液体蒸发器(13)、风扇(14)、照明(15)、真空计(16)、抽真空通道(17)、气路(18)和温湿度传感器(19)；所述控温装置(11)包括样品测试台(111)、内埋的加热丝(112)、温度传感器(113)以及加热丝(112)周围包覆的水冷保护系统(114)，可直接对测试样品进行外部控温；所述探针调节装置(12)包括调节支架(121)和弹性探针(122)，通过调整调节支架(121)可调节弹性探针(122)与测试样品的接触点；其特征在于：包括：将样品与电阻率为18.0MΩcm‑1的去离子水混合成浆料，涂覆在电极衬底(8)的插指状电极部分，然后烘干；将制备好的样品放置在样品测试台(111)上，使用调节支架(121)调节弹性探针(122)的位置，确保探针与被测样品的接触良好；设置被测样品的工作温度，并稳定一段时间；打开角阀(161)，开真空泵开关抽真空，待气箱内气压达到一定值后，关闭角阀，以保持真空度；开启测试软件装置(7)，选择测量模式，测量结果包括图形和数据两种形式；打开混气阀(181)，通入背景气体，待气箱内气压达到目标气压后关闭混气阀；再次打开角阀(161)，开真空泵开关抽真空，待气箱内气压达到一定值后，关闭角阀，以保持真空度，然后打开混气阀(181)，从连接的动态配气系统(6)中通入目标气体；再次打开角阀(161)，开真空泵开关抽真空，待气箱内气压达到一定值后，关闭角阀，以保持真空度，然后打开混气阀(181)，从连接的动态配气系统(6)中再次通入背景气体，以检测被测样品在背景气体中的恢复情况，至测试电阻再次稳定，停止测试。