[发明专利]超精密硅片用三维磨削测力仪

摘要

本发明涉及一种超精密硅片用三维磨削测力仪，包括内轴、砂轮、三维测力平台和传感系统信号处理器，所述被测硅片固定在三维测力平台上，砂轮固定在内轴上磨削被测硅片，三维测力平台将加工过程中的磨削力发送给传感系统信号处理器，所述三维测力平台包括X方向电容单元组和Y方向电容单元组，电容单元组是由至少两个条状电容单元组成的梳齿状结构，每个条状电容包括上极板的驱动电极和下极板的感应电极，电容单元组包括由宽度a₀长度b₀条形电容单元组成的第一条形电容单元模块和宽度ka₀长度b₀条形电容单元组成的第二条形电容单元模块。对磨床动态特性和砂轮磨削性能进行监控,并根据磨削力对砂轮进给速度等工艺参数进行实时调整。

主权项

一种超精密硅片用三维磨削测力仪，其特征在于，包括内轴、砂轮、三维测力平台和传感系统信号处理器，所述被测硅片固定在三维测力平台上，砂轮固定在内轴上磨削被测硅片，三维测力平台将加工过程中的磨削力发送给传感系统信号处理器，所述三维测力平台包括多个三维力传感器，所述三维力传感器包括X方向电容单元组和Y方向电容单元组，所述X方向电容单元组和Y方向电容单元组均包括电容单元模块，所述电容单元模块是由两个以上的条状电容单元组成的梳齿状结构，每个条状电容单元包括上极板的驱动电极和下极板的感应电极，所述电容单元模块包括由两个以上宽度a₀长度b₀的条状电容单元组成的第一条状电容单元组和两个以上宽度ka₀长度b₀的条状电容单元组成的第二条状电容单元组。