[发明专利]一种基于压电薄膜泵的集成液滴生成芯片及其制作方法

摘要

本发明所述的一种基于压电薄膜泵的集成液滴生成芯片及其制作方法，包括盖板、压电膜、通道层及基板，盖板、压电膜、通道层及基板自上到下依次相连接；所述压电膜的上表面及下表面均设有镀膜区，所述镀膜区由水相压电薄膜泵的工作区电极、油相压电薄膜泵的工作区电极及导通区域；通道层包括液滴通道、水相压电薄膜泵工作区通孔、油相压电薄膜泵工作区通孔、两个储液池通孔、收液池通孔及第一通道槽孔、第二通道槽孔、第三通道槽孔、第四通道槽孔及若干电极引出孔；所述盖板上开设有两个第一通孔、两个第二通孔、第三通孔及若干个第四通孔；该芯片的控制精度高，并且制备方法简单。

主权项

一种基于压电薄膜泵的集成液滴生成芯片的制作方法，其特征在于，基于压电薄膜泵的集成液滴生成芯片包括盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板，盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板自上到下依次相连接；所述压电膜(1)的上表面及下表面均设有镀膜区，所述镀膜区包括水相压电薄膜泵的工作区电极(42)、油相压电薄膜泵的工作区电极(41)及导通区域(5)，导通区域(5)与水相压电薄膜泵的工作区电极(42)及油相压电薄膜泵的工作区电极(41)相连接，压电膜(1)上表面的水相压电薄膜泵的工作区电极(42)正对压电膜(1)下表面的水相压电薄膜泵的工作区电极(42)，压电膜(1)上表面的油相压电薄膜泵的工作区电极(41)正对压电膜(1)下表面的油相压电薄膜泵的工作区电极(41)，压电膜(1)上表面的导通区域(5)与压电膜(1)下表面的导通区域(5)错开；通道层(3)包括液滴通道(9)、水相压电薄膜泵工作区通孔(102)、油相压电薄膜泵工作区通孔(101)、两个储液池通孔(11)、收液池通孔(12)及第一通道槽孔(131)、第二通道槽孔(132)、第三通道槽孔(133)、第四通道槽孔(134)及若干电极引出孔(15)；油相压电薄膜泵工作区通孔(101)与一个储液池通孔(11)通过第三通道槽孔(133)相连通，另一个储液池通孔(11)与水相压电薄膜泵工作区通孔(102)通过第一通道槽孔(131)相连通，油相压电薄膜泵工作区通孔(101)与第四通道槽孔(134)相连通，水相压电薄膜泵工作区通孔(102)与第二通道槽孔(132)相连通，收液池通孔(12)通过液滴通道(9)与第二通道槽孔(132)及第四通道槽孔(134)相连通；所述盖板(2)上开设有两个第一通孔(6)、两个第二通孔(7)、第三通孔(8)及若干个第四通孔(14)；两个第二通孔(7)分别正对两个储液池通孔(11)；其中一个第一通孔(6)正对油相压电薄膜泵工作区通孔(101)及油相压电薄膜泵的工作区电极(41)，另一个第一通孔(6)正对水相压电薄膜泵工作区通孔(102)及水相压电薄膜泵的工作区电极(42)；第三通孔(8)正对收液池通孔(12)；各第四通孔(14)正对导通区域(5)及电极引出孔(15)；包括以下步骤：1)取压电膜(1)，将压电膜(1)按照其极化方向固定在夹具上，并在压电膜(1)的上表面及下表面分别形成镀膜区，压电膜(1)上表面的镀膜区及下表面的镀膜区均包括水相压电薄膜泵的工作区电极(42)、油相压电薄膜泵的工作区电极(41)及导通区域(5)，且压电膜(1)上表面的镀膜区中的水相压电薄膜泵的工作区电极(42)正对压电膜(1)下表面的镀膜区中水相压电薄膜泵的工作区电极(42)，压电膜(1)上表面的镀膜区中的油相压电薄膜泵的工作区电极(41)正对压电膜(1)下表面的镀膜区中油相压电薄膜泵的工作区电极(41)，压电膜(1)上表面的导通区域(5)与压电膜(1)下表面的导通区域(5)错开；2)取盖板(2)、通道层(3)及基板，在通道层(3)上开设有液滴通道(9)、水相压电薄膜泵工作区通孔(102)、油相压电薄膜泵工作区通孔(101)、两个储液池通孔(11)、收液池通孔(12)、第一通道槽孔(131)、第二通道槽孔(132)、第三通道槽孔(133)、第四通道槽孔(134)及若干电极引出孔(15)，其中，油相压电薄膜泵工作区通孔(101)与一个储液池通孔(11)通过第三通道槽孔(133)相连通，另一个储液池通孔(11)与水相压电薄膜泵工作区通孔(102)通过第一通道槽孔(131)相连通，油相压电薄膜泵工作区通孔(101)与第四通道槽孔(134)相连通，水相压电薄膜泵工作区通孔(102)与第二通道槽孔(132)相连通，收液池通孔(12)通过液滴通道(9)与第二通道槽孔(132)及第四通道槽孔(134)相连通；在盖板(2)上开设两个第一通孔(6)、两个第二通孔(7)、第三通孔(8)及若干第四通孔(14)，其中，两个第二通孔(7)分别正对两个储液池通孔(11)；一个第一通孔(6)正对油相压电薄膜泵工作区通孔(101)及油相压电薄膜泵的工作区电极(41)，另一个第一通孔(6)正对水相压电薄膜泵工作区通孔(102)及水相压电薄膜泵的工作区电极(42)；第三通孔(8)均正对收液池通孔(12)；各第四通孔(14)正对导通区域(5)及电极引出孔(15)；3)将盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板自上到下依次固定连接，再通过第四通孔(14)引出上电极及下电极，然后在上电极及下电极上接测试引线，得基于压电薄膜泵的集成液滴生成芯片。