[发明专利]一种抗高温氧化的读出电路引出电极及其制备方法

摘要

本发明涉及热释电混合式非制冷焦平面探测器的读出电路引出电极及其制备方法，具体涉及一种可以具有抗高温氧化特性的引出电极，阻止读出电路的Al引出电极在高温工艺中的热扩散和氧化。读出电路引出电极为复合结构，本发明在硅工厂加工完的读出电路上，依次分别制备Ti金属层或Cr金属层、Pa金属层或Pt金属层、Au金属层或Ti金属层，最终形成的引出电极为四层结构复合电极。本发明不仅实现了与Al电极的欧姆接触，同时在后续凸台制备过程中四层复合引出电极具有抗高温氧化特性，具有较强的工艺兼容性，保证了探测器的信号有效读出，有效提高了探测器组件的成品率。

主权项

一种抗高温氧化的读出电路引出电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤a，读出电路清洗：读出电路从硅工厂流片完成后，引出电极为Al金属层，以读出电路为衬底，依次利用甲苯、丙酮和乙醇各超声清洗三遍，清洗至读出电路表面无多余物，然后用氮气吹干残留的液体；步骤b，光刻、腐蚀电极孔：在步骤a所得读出电路上，以2500～3500转/分钟的转速，涂30秒的光刻胶AZ6130，涂胶厚度2～3μm，然后在80℃下烘烤2～3分钟；利用光刻机曝光，采用AZ300MIF的显影液进行显影，控制显影时间使得电极孔的光刻胶显影干净的同时，Al金属层被腐蚀掉500‑800Å；步骤c，复合电极溅射：利用多靶磁控溅射镀膜机，在已完成步骤b的读出电路上依次溅射500‑600Å的Cr金属层，2000‑2100Å的Pa金属层或Pt金属层、500‑600Å的Au金属层或Ti金属层；步骤d，剥离清洗：将经步骤c溅射的读出电路放入丙酮里充分浸泡2.5小时以上，利用频率为40KHz、超声功率60W～80W的低功率超声清洗机超声清洗至覆盖在读出电路上的光刻胶全部剥离清洗干净，剥离形成四层结构复合读出电路引出电极。