[发明专利]一种波导结构有效
| 申请号： | 201510446433.4 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN104991308B | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 边丹丹;陈少武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种波导结构，其至下而上依次叠置有二氧化硅衬底层、氮化硅下条形层、聚氨酯丙烯酸酯狭缝层、氮化硅上条形层，其中，下条形层、该狭缝层以及该上条形层的宽度相等，该下条形层及该上条形层采用正热光系数材料，该狭缝层采用负热光系数材料。通过设定各层的材料及尺寸，达到同时实现波导折射率温度漂移自补偿和低平坦色散的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 结构 | ||
【主权项】：
一种波导结构，其特征在于，其至下而上依次叠置有衬底层、下条形层、狭缝层以及上条形层，其中，该下条形层、该狭缝层以及该上条形层的宽度相等，该下条形层及该上条形层采用正热光系数材料，该狭缝层采用负热光系数材料；所述正热光系数材料为氮化硅，所述负热光系数材料为聚氨酯丙烯酸酯。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510446433.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种液冷式光纤准直器以及激光器
- 下一篇：椭圆形高双折射软玻璃光子晶体光纤
