[发明专利]液晶显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201510437833.9 | 申请日： | 2015-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN104965324B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 张庆明;张波 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种液晶显示装置的制造方法，所述方法包括步骤：在玻璃基板上形成晶体管元件与像素电极；依次在所述晶体管元件上形成导电层、金属层以及光阻层；对所述光阻层进行曝光、显影；对所述金属层进行第一次蚀刻；对所述导电层进行蚀刻；对所述光阻层进行剥膜处理；对所述金属层进行第二次蚀刻，去除所述金属层。本发明的液晶显示装置的制造方法通过在导电层上增加金属层，使得在曝光过程中，光线不会通过透明的导电层照射到曝光机台，进而避免了由曝光机台反光导致的阵列基板产生mura现象，工艺简单且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 金属层 导电层 蚀刻 液晶显示装置 光阻层 晶体管元件 曝光机台 制造 玻璃基板 曝光过程 像素电极 阵列基板 透明的 剥膜 反光 去除 显影 照射 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种液晶显示装置的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括步骤：在玻璃基板上形成晶体管元件与像素电极；依次在所述晶体管元件上形成导电层、金属层以及光阻层；对所述光阻层进行曝光、显影；对所述金属层进行第一次蚀刻；对所述导电层进行蚀刻；对所述光阻层进行剥膜处理；对所述金属层进行第二次蚀刻，去除所述金属层。
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