[发明专利]振动元件及其制造方法、振子、电子设备和移动体有效
| 申请号： | 201510435114.3 | 申请日： | 2015-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN105281705B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 中川尚广 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/19 | 分类号： | H03H9/19;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供振动元件及其制造方法、振子、电子设备和移动体，可以得到充分的电场效率，能够确保良好的元件特性。本发明的振动元件具有基部、和从所述基部延伸的一对振动臂，在所述振动臂的2个侧面(与振动臂进行振动的方向交叉的面)分别具有曲面状的凹部。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 元件 及其 制造 方法 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
一种振动元件，其特征在于，振动元件具有振动臂，在与所述振动臂进行弯曲振动的方向交叉的处于互为正背关系的2个面，分别通过干蚀刻形成有曲面状的凹部。
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