[发明专利]蚀刻液管理装置、溶解金属浓度测定装置及测定方法

摘要

本发明提供一种对蚀刻液的成分浓度进行监视并且对溶解金属浓度进行监视，以使成分浓度固定的方式自动地补给补充液并且对溶解金属进行分离回收的蚀刻液管理装置、溶解金属浓度测定装置及测定方法。所述蚀刻液管理装置具备：第一物性值测定机构，其对与蚀刻液中的酸的浓度相关的第一物性值进行测定；第二物性值测定机构，其对与溶解的金属的浓度相关的第二物性值进行测定；补充液输送控制机构，其基于酸的浓度与第一物性值的相关关系以及第一物性值的测定结果，来控制被补给的补充液的输送；溶解金属回收去除机构，其基于溶解的金属的浓度与第二物性值的相关关系以及第二物性值的测定结果对溶解的金属进行回收去除。

主权项

一种蚀刻液管理装置，其对含有酸并在金属膜或金属化合物膜的蚀刻中反复使用的蚀刻液进行管理，所述蚀刻液管理装置的特征在于，具备：第一物性值测定机构，其对作为所述蚀刻液的物性值的、与该蚀刻液中的所述酸的浓度相关的第一物性值进行测定；第二物性值测定机构，其对作为所述蚀刻液的物性值的、与从所述金属膜或所述金属化合物膜溶解到该蚀刻液中的金属的浓度相关的第二物性值进行测定；补充液输送控制机构，其基于所述蚀刻液中的所述酸的浓度与所述第一物性值之间的相关关系以及所述第一物性值测定机构的测定结果，以使所述酸的浓度处于所管理的浓度范围内的方式控制向所述蚀刻液补给的补充液的输送；溶解金属回收去除机构，其基于溶解于所述蚀刻液中的所述金属的浓度与所述第二物性值之间的相关关系以及所述第二物性值测定机构的测定结果，以使所述金属的浓度成为所管理的浓度的阈值以下的方式从所述蚀刻液回收去除溶解于该蚀刻液中的所述金属。