[发明专利]一种纳米压印方法在审
| 申请号： | 201510417461.3 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN105372931A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 王清;马立俊;刘华伟;张睿;张金涛;郑旭 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266590 山东省青岛市经*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米压印方法，先将纳米压印胶层材料均匀旋涂于衬底上，形成压印胶层；然后将该衬底放置在超声波发射装置上，并采用上部装有超声波发射装置的模板进行压印；压印同时，模板上部的超声波发射装置和衬底下部的超声波发射装置分别对模板和衬底施加超声波；最后，停止施加压力和超声波，待压印胶层固化后，移去模板。本发明与现有技术相比解决了纳米压印过程中由于模板空腔滞留气体的影响或聚合物流动性不足而导致的模板空腔不能被完全填充的缺陷，降低了压印力，大大的提高了模板空腔中聚合物的填充率，进而提高压印的成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米压印方法，其特征在于：先将纳米压印胶层材料均匀旋涂于衬底上，形成压印胶层；然后将该衬底放置在超声波发射装置上，并采用上部装有超声波发射装置的模板进行压印；压印同时，模板上部的超声波发射装置和衬底下部的超声波发射装置分别对模板和衬底施加超声波；最后，停止施加压力和超声波，待压印胶层固化后，移去模板。
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