[发明专利]锚固结构和啮合结构有效
| 申请号： | 201510414967.9 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN105070747B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | F.希尔勒;W.里格;U.施马尔茨鲍尔;E.J.福格尔;R.策尔萨歇尔;M.聪德尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/78 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;刘春元 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及锚固结构和啮合结构。一种用于半导体器件的金属结构的锚固结构包括具有至少一个悬伸侧壁的锚固凹陷结构，该金属结构至少部分地设置在锚固凹陷结构内。 | ||
| 搜索关键词： | 锚固 结构 啮合 | ||
【主权项】：
1.一种啮合结构，该啮合结构形成在器件的外围区域，所述外围区域包围单元场，该啮合结构包括：中间绝缘层，被结构化成使得中间绝缘层被两个或更多接触孔中断，所述两个或更多接触孔布置在与单元场的外侧正交的横向方向上；中间绝缘层上的金属结构；以及支撑结构，包括多晶硅且嵌入到衬底中形成的相应凹陷内并且与所述两个或更多接触孔对准，其中支撑结构不是单元场的部分，其中金属结构通过接触孔延伸直到金属结构粘附连接至的支撑结构。
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