[发明专利]基于导波共振的传感器及传感器测试系统有效
| 申请号： | 201510413211.2 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN105044029B | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 史丽娜;谢常青;牛洁斌;李海亮;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于导波共振的传感器及传感器测试系统。该传感器包括衬底；形成于该衬底上的自支撑薄膜结构；以及形成于该自支撑薄膜结构中的球形空气孔阵列，用于承载待测样品，利用该球形空气孔阵列中的导波共振来探测该待测样品的折射率变化。本发明传感器采用周期纳米结构，体积小，易于携带。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 导波 共振 传感器 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种基于导波共振的传感器，其特征在于，该传感器采用能够存在导波共振的介质结构，包括：衬底；形成于该衬底上的自支撑薄膜结构；以及形成于该自支撑薄膜结构中的球形空气孔阵列，用于承载待测样品，利用该球形空气孔阵列中的导波共振来探测该待测样品的折射率变化；其中，所述球形空气孔阵列呈三角格子周期排列，x和y方向周期介于800纳米至2800纳米之间。
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