[发明专利]一种可加热衬底的承载装置在审
| 申请号： | 201510412846.0 | 申请日： | 2015-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN105003801A | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 刘亿军;续震 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | F16M13/00 | 分类号： | F16M13/00 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 李绪岩 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种可加热衬底的承载装置，包括L型支架，螺栓，顶丝和锁紧螺栓。螺栓和顶丝设置在L型支架上端。锁紧螺栓固定在L型支架上。本发明结构紧凑合理，加热盘及PIN机构通过螺栓安装在L型支架上，L型支架安装腔体下方。在进行设备调试时可以先松开锁紧螺栓，调整顶丝保证加热盘及升降支撑机构处于水平,然后锁紧螺栓以满足使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 衬底 承载 装置 | ||
【主权项】：
一种可加热衬底的承载装置，其特征在于：包括L型支架，螺栓，顶丝和锁紧螺栓；螺栓和顶丝设置在L型支架上端，锁紧螺栓固定在L型支架上。
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