[发明专利]具有真空密封透镜盖的热成像系统和相关晶圆级制造方法

摘要

一种具有一真空密封透镜盖的热成像系统，包括：(a)一具有一热敏像素的阵列用于检测热辐射的热图像感测器，和(b)一密封到该热图像感测器的透镜，用于将一场景的热辐射成像到该热敏像素的阵列和用于沿着该热敏像素的周围密封一真空。一种用于制造一具有一真空密封透镜盖的热成像系统的晶圆级方法包括密封具有多个透镜的一透镜晶圆到具有多个热图像感测器的一感测器晶圆，每一该多个热图像感测器具有一热敏像素的阵列，为每一该多个热图像感测器在该热敏像素的周围密封一真空。

主权项

具有真空密封透镜盖的热成像系统，包括：热图像感测器，包含用于检测热辐射的热敏像素的阵列；以及透镜，所述透镜密封至所述热图像感测器并且用于将场景的热辐射成像到所述热敏像素的阵列和用于在所述热敏像素的周围密封出真空。