[发明专利]基于低温共烧陶瓷基板的无源无线气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201510397868.4 | 申请日： | 2015-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN105021659A | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 马名生;刘志甫;山巍;李永祥 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于低温共烧陶瓷基板的无源无线气体传感器及其制备方法，所述基于低温共烧陶瓷基板的无源无线气体传感器包括：低温共烧陶瓷基板、形成于所述低温共烧陶瓷基板上的LC谐振天线、以及涂覆于所述LC谐振天线上的由金属硫族化合物构成的气敏膜。本发明对NH3和NO2等污染有毒性气体具有较高的灵敏度，进一步拓展LTCC无源无线气体传感器的气敏范围，提高LTCC无源无线气体传感器的测量范围和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 低温 陶瓷 无源 无线 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于低温共烧陶瓷基板的无源无线气体传感器，其特征在于，包括：低温共烧陶瓷基板、形成于所述低温共烧陶瓷基板上的LC谐振天线、以及涂覆于所述LC谐振天线上的由金属硫族化合物构成的气敏膜。
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