[发明专利]太阳能电池外延片和其制作方法

摘要

一种太阳能电池外延片和其制作方法，该太阳能电池外延片包括依次设置的衬底、缓冲层、牺牲层和太阳能电池层，其中，牺牲层包括第一牺牲层和第二牺牲层，第一牺牲层紧贴缓冲层设置，第二牺牲层紧贴第一牺牲层设置，第一牺牲层上分布有多条凹槽，第二牺牲层上具有多个与凹槽配合的凸起，且凸起内具有沿凹槽的长度方向延伸的空隙。在牺牲层内设置的多个空隙，在将太阳能电池外延片浸入选择性腐蚀液时，选择性腐蚀液可通过该空隙从牺牲层的边沿进入其内部，加快了牺牲层的被腐蚀速度，从而减少了太阳能电池制作过程中外延剥离工艺所需的时间。

主权项

一种太阳能电池外延片，包括依次设置的衬底(1)、缓冲层(2)、牺牲层(3)和太阳能电池层(4)，其特征在于，所述牺牲层(3)至少包括第一牺牲层(31)和第二牺牲层(32)，所述第一牺牲层(31)紧贴所述缓冲层(2)设置，所述第二牺牲层(32)紧贴所述第一牺牲层(31)设置，所述第一牺牲层(31)上分布有多条凹槽(311)，所述第二牺牲层(32)上具有多个与所述凹槽(311)配合的凸起(321)，且所述凸起(321)内具有沿所述凹槽(311)的长度方向延伸的空隙(33)，用于使得腐蚀液流入所述牺牲层(3)的内部。